193nm Air Spaced Zero Order Waveplate , without adhesive layers, has strong structural stability and anti-aging performance. Quartz resists deep UV corrosion, suits continuous high-power laser operation, with consistent polarization control.
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Features: Air Spaced Thickness 0.8~2.0mm Hight Damage Threshold AR coated and Mounted |
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Número de artículo :
WPA-193nmOrigen del producto :
FuZhouSpecifications:
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Material:
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Quartz
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Diameter Tolerance:
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+0.0, -0.1mm
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Wavefront Distortion :
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λ/8 @ 632.8nm
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Retardation Tolerance:
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λ/50
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Parallelism:
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<1 arc second
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Surface Quality:
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20/10
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Clear Aperture:
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>80%
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Coating:
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S1&S2: R<0.2% @ wavelength
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Standard wavelength:
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193nm
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Standard Products:
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Half Waveplates P/N#
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Quarter Waveplates P/N#
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Diameter(mm)
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WPA-210-193
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WPA-410-193
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10.0
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WPA-212-193
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WPA-412-193
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12.7
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WPA-215-193
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WPA-415-193
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15.0
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WPA-220-193
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WPA-420-193
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20.0
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WPA-225-193
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WPA-425-193
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25.4
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WPA-230-193
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WPA-430-193
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30.0
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WPA-235-193
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WPA-435-193
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35.0
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WPA-250-193
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WPA-450-193
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50.0
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Technical Advantages of 193nm Air Spaced Zero-Order Waveplate：
The 193nm air-gap waveplate uses a dual-quartz air-spaced structure, greatly reducing material absorption loss, with excellent transmittance in deep UV bands like ArF excimer lasers. Its air-gap design avoids thermal stress from bonding, enduring long-term high-power laser operation. Incorporating ion beam finishing, it achieves nanoscale surface flatness, significantly reducing scattering loss and optimizing wavefront quality, suitable for high-precision polarization control in lithography.
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